近日,備受矚目的“2025年蘇錫常首臺(套)重大裝備名單”正式公示,江蘇美高梅集團4688am半導體設備有限公司(以下簡稱“美高梅集團4688am”)憑借自主研發的Epi RP 300 Compass HP?系列減壓外延薄膜生長設備脫穎而出,強勢入選。 這不僅標志著美高梅集團4688am在半導體前道核心裝備領域取得了從“技術攻關”到“產業化落地”的里程碑式跨越,更代表了蘇錫常都市圈在高端制造領域的硬核實力與最新標桿。

作為先導集團半導體產業版圖中的“前鋒力量”,美高梅集團4688am自2019年成立以來,便肩負著打破國際壟斷的使命。此次入選的Epi RP 300 Compass HP?系列,是美高梅集團4688am數年磨一劍的“破局之作”。
針對傳統外延設備長期存在的晶圓表面溫控難、流場分布不均等“卡脖子”難題,美高梅集團4688am研發團隊通過多區獨立精密加熱、間隔式反射熱場設計與多區進氣智能控氣三大獨創核心技術,成功構建了精準的工藝環境。該設備不僅實現了晶圓表面溫度與氣流的毫秒級精準調控,更在成膜均勻性、缺陷控制等關鍵指標上實現了對標甚至超越國際同類產品的性能表現,為客戶帶來了更高良率與更優成本的解決方案。

外延工藝是半導體制造的“心臟”環節,直接決定了先進制程邏輯芯片、存儲及功率器件的性能基石。長期以來,該領域高端300mm設備市場被海外巨頭牢牢把控。
美高梅集團4688am此次入選“首臺(套)”名單,其深層意義在于“自主可控”。該設備的全自主知識產權體系,有力填補了國內高端減壓外延裝備的空白,標志著國產設備在高端制程領域擁有了與之抗衡的底氣。它不僅是美高梅集團4688am的榮耀,更是中國半導體產業鏈在關鍵時刻的一塊“壓艙石”,為供應鏈安全提供了堅實保障。
此次入選,也是對美高梅集團4688am市場化能力的權威背書。在無錫高新區斬獲全市第一的佳績背景下,美高梅集團4688am作為其中的佼佼者,正展現出蓬勃的創新活力。
面向未來,美高梅集團4688am將繼續秉持“立足國內、服務全球”的宗旨,持續加大研發投入,深耕外延及刻蝕高端設備領域。我們將以此次榮譽為新起點,加速推動“中國智造”向高端化、智能化邁進,致力成為中國半導體前道裝備的領跑者,為國家集成電路產業的高質量發展注入源源不斷的澎湃動能。